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由于SiO₂是難熔氧化物，高溫下黏度很大，要獲得結構均勻的摻雜石英玻璃較為困難，因此人們采用了多種摻雜方法，主要有以下五種。

1、  多孔質SiO₂浸潤法，用氧分解SiCl-₄原料，制成多孔質二氧化硅基體，再將該基體浸入到需要摻雜的氧化物的鹽溶液中，干燥后，再加熱使其玻璃化而透明，稱為摻雜石英玻璃。該摻雜方法多用于制造塊狀或異形摻雜石英玻璃。

2、  溶膠-凝膠摻雜法，以硅酸乙酸為原料，將硅酸乙酯、乙醇和水混合后，加入摻雜劑的氧化物鹽類，使其變為均勻的混合液，將該混合液水解、凝膠化、收縮固化，成為均勻的膠體，在1100℃下加入該膠體，從而得到均勻的摻雜石英玻璃。該方法多用于塊狀摻雜石英玻璃。

3、  氣相沉積工藝，以SiCl₄和摻雜物的低沸點化合物為原料，在一定蒸汽壓下，用氫氣分別對上述液體原料鼓泡帶料，使氣相混合料從燃燒器中心成霧狀噴出，在高溫下水解、熔化成均勻的SiO₂-M_xO_y或多元組分玻璃，這種摻雜方法很多用于制造管或棒狀摻雜石英玻璃，如光導纖維預制棒和低膨脹石英玻璃等。

4、  粉體摻雜，即直接摻雜的氧化物和SiO₂粉料攪拌混勻后熔化成石英玻璃。用這種摻雜方法制造出的石英玻璃微觀上摻雜不均勻，優點是節省人力物力，更為可取的是不污染環境，當摻雜量少或對玻璃的均勻性要求不高時，此方法當屬首先。

5、  對SiO₂粉料進行液體摻雜，將要摻雜的氧化物的鹽類化合物用去離子水溶解，與SiO₂粉料攪拌均勻，再將原料干燥煅燒，熔制成石英玻璃，該摻雜方法摻雜均勻，但最大的缺點是，在原料干燥煅燒時，由于摻雜的鹽類分解成氧化物，會產生有害氣體污染環境，因此，煅燒設備上應安裝廢氣回收裝置，對廢氣進行回收，分解。